敏芯股份取得发明专利授权：“微差压传感器、封装结构、测验办法及电子设备”
来源：常见问题 发布时间：2024-12-28 21:33:00证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现敏芯股份（688286）新取得一项发明专利授权，专利名为“微差压传感器、封装结构、测验办法及电子设备”，专利申请号为CN3.X，授权日为2024年5月24日。
专利摘要：本发明供给了一种微差压传感器、封装结构、测验办法及电子设备，其间，所述微差压传感器包含MEMS芯片，MEMS芯片包含以层叠方法设置的基底、振膜以及背极板，背极板包含彼此阻隔的榜首电极区域和第二电极区域，榜首电极区域构成榜首电极，第二电极区域构成第二电极，振膜构成第三电极，榜首电极与第三电极构成榜首电容，第二电极与第三电极构成第二电容；经过榜首电衔接端向榜首电极施加电压鼓励信号或许高电压信号等方法，唆使振膜发生形变，以改动振膜和背极板之间的距离，来仿照加气流检测；然后经过第三电衔接端输出感测到的所述第二电容的改变量，以依据榜首预设阈值确认MEMS芯片是否处于劣化状况。
今年以来敏芯股份新取得专利授权38个，较去年同期增加了11.76%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了7790.71万元，同比增11.7%。
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